安全买球软件推荐 -上海华力申请OPC建模参数训练方法专利，提高建模精度

国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“OPC建模参数训练方法”的专利，公开号CN121638160A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种OPC建模参数训练方法，包括：步骤一、进行OPC建模数据收集，包括：根据光刻工艺层版图的设计要求设计多个OPC图形。选定至少一个模型参数作为需要进行训练的被选择模型参数并设置多个不同的取值。收集各OPC图形在各被选择模型参数的不同取值下进行光刻工艺形成的晶圆图形数据。步骤二、根据所收集的数据得到样本单元以及样本集。步骤三、将样本集的数据输入到神经网络中进行训练。步骤四、采用已训练的神经网络进行OPC建模，在OPC建模过程中，利用已训练的神经网络得到被选择模型参数的最优取值，采用被选择模型参数的最优取值进行OPC建模。本发明能提高建模速度并同时提高建模精度。

天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2082次，专利信息2765条，此外企业还拥有行政许可399个。

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来源：市场资讯